[인더스트리뉴스 박현우 기자] 정밀 모션제어 전문기업 PI가 99.97%의 선형도와 2nm 반복 정밀도를 구현한 고속 XYZ 나노포지셔닝 시스템 ‘PIMars’를 선보였다.
이 제품은 서브나노미터급 분해능과 높은 동적 성능을 결합해, 산업과 연구 현장에서 요구되는 빠르고 안정적인 초정밀 포지셔닝 솔루션을 제공한다.
최근 반도체, 포토닉스, 생명과학 등 다양한 분야에서 빠른 응답성과 높은 반복 정밀도를 동시에 갖춘 시스템에 대한 수요가 커지고 있다.
PI는 이에 따라 차세대 공정 및 계측 작업에 대응하기 위해 정밀성과 동적 성능을 모두 강화한 PIMars 시리즈를 선보였다.
PIMars는 최대 300마이크로미터의 이동 범위를 지원하며, 10ms 미만의 스텝 앤 세틀(step-and-settle) 시간으로 빠른 응답 속도를 구현했다.
또한 ±30nm 수준의 Z축 직진도와 평탄도를 달성해 복잡한 셋업 환경에서도 탁월한 평면도를 유지하고 있다.
PIMars는 병렬 위치 측정 기능을 갖춘 피에조 구동 방식을 기반으로 나노미터 수준의 정밀 제어와 고속 동작을 동시에 실현했다.
이 시스템은 진동·충격·온도 변화에도 안정적으로 동작하며, 마모가 없고 유격이 없는 플렉셔 가이드 구조를 통해 긴 수명과 높은 신뢰성을 확보했다.
이러한 구조적 안정성은 산업용 장비의 유지보수 비용을 줄이고, 장비 가동률을 높이는 데 기여한다.
PIMars 시리즈는 현미경·포토닉스·반도체·계측 등 폭넓은 분야에서 활용될 수 있다.
생명과학 및 현미경 분야에서는 초분해능 현미경·공초점 현미경·원자력 현미경(AFM)·라이브 셀 이미징 등에서 정밀한 위치 제어를 가능하게 한다.
또한 포토닉스 및 광학 분야에서는 광섬유 및 정밀 광학 정렬·간섭계 조정·빔 정렬 작업 등에 적용되고 있다.
반도체 산업에서는 웨이퍼 검사·리소그래피·마스크 정렬·결함 검출 등 다양한 공정에서 나노 단위의 정렬과 계측을 지원한다.
PI 관계자는 “PIMars 시리즈는 고속성과 정e밀도를 동시에 필요로 하는 산업 및 연구 환경에서 생산성과 공정 신뢰성을 크게 향상시킬 것”이라며, “PI는 앞으로도 나노포지셔닝 기술을 기반으로 첨단 산업의 경쟁력 강화를 지속적으로 지원할 계획”이라고 말했다.
