머신 비전 시스템 및 ID 자동인식 분야 전문기업 코그넥스(www.cognex.com)는 차세대 웨이퍼 식별(ID) 판독 장비 In-Sight 1740 시리즈 및 관련 최신 소프트웨어 In-Sight Explorer Wafer ID 소프트웨어 4.5.0 버전을 출시했다. 새로 출시된 제품군에는 판독율과 신뢰성을 모두 개선하는 기능들이 포함돼, 광범위한 웨이퍼 취급 및 공정 도구에서 판독 장비를 보다 쉽게 구성, 유지할 수 있다. 이러한 최신 추가 기능은, 장비 가동 시간을 최대한 보장하며, 웨이퍼 판독 단계에서 작업자의 개입을 최소화한다.

강화된 처리 능력을 통해 In-Sight 1740 시리즈 웨이퍼 판독 장비는 기존 판독 시간을 40%까지 단축시켰으며, 보다 빠른 처리 속도를 통해 최신 자동 자체 최적화 기능을 활용할 수 있다. 이러한 새로운 기능들은 가장 판독이 어려운 ID 표식에 대해서도 판독율과 신뢰성을 탁월하게 향상시키며, 작업자의 개입 없이도 원활한 작업을 보장한다.

In-Sight 1740 시리즈 판독 장비는 또한, 높은 판독율의 명시야(Bright Field) 이미지를 생성하는 내장형 조명 시스템으로 명성이 높은, 기존 Cognex In-Sight 1720 시리즈 제품에 적용된 탁월한 통합 조명 시스템을 포함하고 있다. In-Sight 1740 시리즈는 별도의 LED 소켓을 내장해 보다 향상된 최상급 조명시스템을 통해, 다양한 유형의 웨이퍼의 ID 표식에 대해 탁월한 고대비(High Contrast) 이미지를 생성한다. 이와 더불어 새로운 웨이퍼 공정 및 코팅 기술의 개발과 함께, In-Sight 1740 시리즈 판독 장비는 보조 조명 확장 포트로 전원을 공급하는 특수 조명을 통해 새로운 이미지 문제를 해결한다.

코그넥스 비전 시스템 사업부 매니저인 바스카 바네르지(Bhaskar Barnerjee)는 “In-Sight 1740 시리즈는 이미 반도체 산업 분야에서 웨이퍼 판독 장비의 표준으로 평가받고 있는 기존 제품군의 기능을 더욱 향상시켰다”며, “새로운 시스템은 오직 코그넥스에서만 제공되는 자동 이미지 개선 필터링 기능과 같이, 웨이퍼 ID의 시각 저하 현상을 극복하는 다양한 업그레이드된 기능을 제공하고 있다”고 밝혔다.

새로운 In-Sight 1740 시리즈 웨이퍼 판독 장비는 100% 역방향 호환성을 지원하며, In-Sight 1720 시리즈와 정확하게 동일한 규격과 마운팅 구멍 패턴 및 원격 명령 집합 등을 지원하고 있어, 기존 제품군이 사용되는 모든 작업장에 적용이 가능하다.

한편, 최신 In-Sight Explorer Wafer ID 소프트웨어 4.5.0 버전은 시각 품질 저하 방지를 위한 자동 이미지 개선 필터를 통해 가장 판독이 어려운 경우에도 작업자의 개입 없이 판독 오류를 판독 성공으로 바꿀 수 있다.

또한, 이 소프트웨어는 보다 강화된 300mm 웨이퍼를 지원한다. SEMI M1.15 표준에 따라 모든 300mm 웨이퍼에는 T7 데이터 매트릭스 코드 및 OCR 마크가 표시된다. 코그넥스의 최신 4.5.0 버전 소프트웨어는 특허 받은 Cognex IDMax 기술을 통해, T7 코드 판독을 우선적으로 시도해 SEMI M1.15 마크 판독 성능을 개선했다. 처리 도중 T7 코드의 품질이 매우 저하되는 경우에는 보조적으로 OCR 마크를 사용하며, 최대한 보장된 신뢰성과 구성 관련 설정을 최소화해 보다 용이한 판독 장비 유지 보수가 가능하다.

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