[Àδõ½ºÆ®¸®´º½º ÃÖÁ¾À± ±âÀÚ] ¹ÝµµÃ¼¿Í ÷´Ü ¿þÀÌÆÛ ·¹º§ ÆÐŰ¡(WLP)À» À§ÇÑ ¿þÀÌÆÛ °øÁ¤ ¼±µµ¾÷üÀÎ ACM ¸®¼Ä¡(ACM Research)´Â ÀÚ»çÀÇ ¿ïÆ®¶ó Fn Æ۴Ͻº(Ultra Fn Furnace) Àåºñ°¡ Àü·Â¹ÝµµÃ¼ Ĩ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡¼ ÇÕ±Ý ¾î´Ò¸µ(alloy anneal) ±â´ÉÀ» Áö¿øÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
¿ïÆ®¶ó Fn Æ۴Ͻº(Ultra Fn Furnace) Àåºñ [»çÁø=ACM¸®¼Ä¡] |
ÀÌ »õ·Î¿î ±â´ÉÀº Æ®·£Áö½ºÅÍ°¡ Á¡Á¡ ´õ ¼ÒÇüÈ ¹ÚÇüÈÇÏ°í, ó¸® ¼Óµµ°¡ »¡¶óÁü¿¡ µû¶ó Àý¿¬ °ÔÀÌÆ® ¾ç±ØÇü Æ®·£Áö½ºÅÍ(IGBT) Á¦Ç° »ý»ê ½Ã °è¼ÓÇؼ ´Ã¾î³ª´Â ´Ù¾çÇÑ ¿ä±¸»çÇ×µéÀ» ÃæÁ·ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
½ÃÀåÁ¶»çȸ»çÀÎ ¸ðµµ ÀÎÅÚ¸®Àü½º(Mordor Intelligence)´Â “2019³â ¾à 5.4¾ï ´Þ·¯ÀÇ ½ÃÀå ±Ô¸ð¸¦ Çü¼ºÇÑ IGBT ½ÃÀåÀº ¿¬Æò±Õ 9.66%ÀÇ ¼ºÀå·üÀ» ±â·ÏÇϸç, 2025³â¿¡´Â ¾à 9.38¾ï ´Þ·¯ ±Ô¸ð·Î ´Ã¾î³¯ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù”¸é¼, “IGBTÁ¦Ç°ÀÌ ÄíÄ¿, ÀüÀÚ ·¹ÀÎÁö, Àü±â ÀÚµ¿Â÷(EV), ¿Â÷, °¡º¯ ÁÖÆļö µå¶óÀ̺ê(VFD), °¡º¯¼Ó ³ÃÀå°í, ¿¡¾îÄÁ, ·¥ÇÁ ¾ÈÁ¤±â, Áö¿ª ¼ÛÀü ½Ã½ºÅÛ ¹× ½ºÅ×·¹¿À ½Ã½ºÅÛ µî ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡ ±¤¹üÀ§ÇÏ°Ô »ç¿ëµÊ¿¡ µû¶ó ÃÖ±Ù ¸¹Àº ±â¾÷µéÀÌ IGBT Á¦Á¶ ½ÃÀå¿¡ ½Å±Ô ÁøÃâÇÑ »óÅ”¶ó°í ¹àÇû´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀÇ ÁøÈ¿Í ÇÔ²² IGBT Á¦Á¶ °ü·Ã ¿ä±¸»çÇ×µµ °è¼Ó ´Ã¾î³ª°í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ Àü±â ÀÚµ¿Â÷ ºÐ¾ß¿¡¼´Â ´õ ºü¸¥ ½ºÀ§Äª ±â´É, Çâ»óµÈ Àü·Â È¿À²¼º ¹× ´õ ³ôÀº Àü·Â ¹Ðµµ¸¦ ¿ä±¸ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ACM ¸®¼Ä¡ µ¥À̺ñµå ¿Õ(David Wang) ÃÖ°í°æ¿µÀÚ °â »çÀåÀº “¿À´Ã³¯ IGBT Á¦Ç°Àº ±× ¾î´À ¶§º¸´Ù ÀÛ°í, ºü¸£°í, ¾ã¾Æ¾ß ÇÑ´Ù”¸é¼, “ACMÀº Àü·Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ ´ëÇÑ ´Ù³â°£ÀÇ ºÐ¼®°ú °æÇèÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¿ÃÃÊ¿¡ ¹ÚÇü ¿þÀÌÆÛ ÈÄ¸é ¼¼Á¤ ½Ã½ºÅÛ(Thin Wafer Backside Cleaning System)À» Ãâ½ÃÇÏ¸é¼ Àü·Â ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡ ÁøÀÔÇß´Ù”°í ¹àÇû´Ù. µ¥À̺ñµå ¿Õ(David Wang)Àº ÀÌ¾î “¿ïÆ®¶ó Fn Àåºñ¿¡ ÇÕ±Ý ¾î´Ò¸µ ±â´ÉÀ» Ãß°¡ÇÔÀ¸·Î½á ¿ì¸®ÀÇ Æ۴Ͻº Àåºñ¸¦ ÆÄ¿îµå¸®»Ó ¾Æ´Ï¶ó Àü·Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ ´Ù¾çÇÑ °í°´»ç¿¡ Á¦¾ÈÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù”°í °Á¶Çß´Ù.
ÇÕ±Ý ¾î´Ò¸µ ±â´ÉÀ» Áö¿øÇÏ´Â ¿ïÆ®¶ó Fn Æ۴Ͻº Àåºñ´Â ºÒÈ°¼º °¡½º¿Í ȯ¿ø¼º °¡½º ȯ°æ»Ó ¾Æ´Ï¶ó, ¸¶ÀÌÅ©·Î-Torr ¼öÁرîÁöÀÇ °íÁø°ø Á¶°Ç¿¡¼ ¾î´Ò¸µ °øÁ¤À» ¼öÇàÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶Ç ÀÌ Àåºñ´Â ¿þÀÌÆÛ Çڵ鸵 ½Ã½ºÅÛ, ÇÁ·Î¼¼½º Æ©ºê ¹× º¸Æ®ÀÇ Æ¯¼ö ¼³°è¸¦ ÅëÇØ ¹Ú¸· ¿þÀÌÆÛ ¶Ç´Â Taiko ¿þÀÌÆÛ¿¡µµ Àû¿ëÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
¾Æ¿ï·¯ ÀÌ Àåºñ´Â 12ÀÎÄ¡(300mm) ¿þÀÌÆÛ¸¦ ÃÖ´ë 100¸Å±îÁö ó¸®Çϵµ·Ï ¼³°èµÆ´Ù. ¿ïÆ®¶ó Fn Àåºñ´Â SiN¿Í HTO¿ë LPCVD°øÁ¤, un-doped poly/doped poly ÁõÂø, °ÔÀÌÆ® »êÈ °øÁ¤, 1200°C °í¿Â °øÁ¤, ±×¸®°í ALD °øÁ¤¿¡µµ È°¿ëÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
[ÃÖÁ¾À± ±âÀÚ (news@industrynews.co.kr)]
[ÀúÀÛ±ÇÀÚ © FAÀú³Î SMART FACTORY, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö]