»ó´Ü¿©¹é
HOME Å×Å©
[Ä¿¹ö½ºÅ丮] Çѱ¹¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â, °í°´ÀÇ Çǵå¹é ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÇÑ ¼±Áø ±â¼ú·Â È®º¸·Î Áö¼ÓÀû µµÀü °ßÁö
Çѱ¹¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â´Â ¼±Áø±â¼ú°ú ¼­ºñ½º·Î, ¹ÝµµÃ¼, FPD, ÀÚµ¿Â÷ »ý»ê¼³ºñ¸¦ ºñ·ÔÇÑ ´Ù¾çÇÑ »ê¾÷ºÐ¾ß¿¡¼­ È°¾àÇϸç ÃÖ±Ù È­µÎ°¡ µÇ°í ÀÖ´Â ¿¡³ÊÁö¿Í °ü·ÃÇؼ­µµ °íÈ¿À² ±×¸° ¿¡³ÊÁöÀÇ È°¿ë ¹× »ç¶÷°ú ·Îº¿ÀÌ °øÁ¸ÇÏ´Â »çȸÀÇ ½ÇÇö µî »õ·Î¿î »ç¾÷¿µ¿ª¿¡ ´ëÇÑ µµÀüÀ» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î À̾°í ÀÖ´Ù.

   
 
   
 
Çѱ¹¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â ±èÀμö °úÀåÀº ¡°´ç»ç´Â °í°´ÀÇ ÀÇ°ß¿¡ ±Í ±â¿ï¿© À̸¦ Àû±Ø ¼ö·ÅÇÔÀ¸·Î½á ºü¸¥ °ËÅä ¹× ´ëÀÀ·ÂÀ» º¸ÀåÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ±×¸®°í ²÷ÀÓ¾ø´Â ±â¼úÀû µµÀüÀ» ÅëÇØ °í°´ÀÇ ´ÏÁî¿¡ À¯¿¬ÇÏ°Ô ´ëÀÀÇÏ°í ÀÖ´Ù¡±°í ¾ð±ÞÇß´Ù.

¾ß½ºÄ«¿Í±×·ìÀÇ ¾Æ½Ã¾Æ ÁÖ °ÅÁ¡À¸·Î¼­ Çѱ¹½ÃÀå¿¡ ÁýÁß
Çѱ¹¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â´Â Áö³­ 1994³â Çѱ¹¿¡ ¹ýÀÎÀ» ¼³¸³ÇÑ ÀÌ·¡ ¸ð¼Ç ÄÁÆ®·Ñ Á¦Ç°À» Áß½ÉÀ¸·Î »ç¾÷À» Àü°³ÇØ ¿Ô´Ù. ÀϺ»¿¡ º»»ç¸¦ µÐ ¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â´Â »ê¾÷¿ë ·Îº¿, ¼­º¸¸ðÅÍ µî°ú °°Àº ÇÏÀÌ¿£µå »ê¾÷À» ¼±µµÇÏ´Â ±Û·Î¹ú ±â¾÷À¸·Î »ê¾÷¿ë ·Îº¿ Á¦Á¶ ºÐ¾ß¿¡¼­´Â ±Û·Î¹ú 1À§ÀÇ À§Ä¡¸¦ °ø°íÈ÷ ÇÏ°í Àִµ¥, Çѱ¹¿¡¼­ ¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â´Â 2000³â´ë¿¡ µé¾î¼­ ·Îº¿»ç¾÷ºÎÀÇ ¿µ¿ªÀ» È®´ëÇϸç ÀÚµ¿Â÷, ¹ÝµµÃ¼, ¾×Á¤ »ý»ê¼³ºñ µî ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡¼­ À¯Åë¸ÁÀ» ³ÐÇô¿Ô´Ù.

Áö³­ÇØ 11¿ù Çѱ¹¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â´Â ±¹³»¿¡¼­ÀÇ ·Îº¿½ÃÀå °­È­¸¦ À§ÇØ ³²ºÎÁöÁ¡ÀÇ È®´ë ¹× ÀÌÀüÀ» ÃßÁøÇÏ´Â µ¿½Ã¿¡ ·Îº¿¼¾Å͸¦ ¼³¸³ÇÔÀ¸·Î½á ±¹³» ·Îº¿»ê¾÷ÀÇ È°¼ºÈ­¿¡ ÀÏÁ¶ÇÏ°Ú´Ù´Â Æ÷ºÎ¸¦ ÀüÇß´Ù. ±è °úÀåÀº ¡°´ç»ç´Â ¾ß½ºÄ«¿Í±×·ìÀÇ ¾Æ½Ã¾Æ ÁÖ °ÅÁ¡À¸·Î¼­ Çѱ¹½ÃÀåÀÇ ºü¸¥ ¼ºÀå¿¡ ºÎÀÀÇØ ¸ð¼Ç ÄÁÆ®·Ñ°ú ·Îº¿À» ÅëÇØ ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º, ±â°è, ÀÚµ¿Â÷, °Ç¼³, ¹°·ù µîÀÇ ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡¼­ »ç¾÷ ¿µ¿ªÀ» È®´ëÇØ ¿Ô´Ù¡±°í ¼Ò°³Çß´Ù.

   
 
  ¡ã MR124 Robot  
 
ÀÌ·¯ÇÑ ³ë·ÂÀ» ÅëÇØ Áö³­ÇØ Çѱ¹¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â´Â ÆǸŠ·çÆ® È®´ë ¹× ÁÖ·Â Á¦Ç°±ºÀÇ »ç¾ç º¯°æÀ» ÅëÇØ ¼º°øÀûÀ¸·Î ÇÑÇظ¦ ¸¶¹«¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. ±è °úÀåÀº ¡°Áö³­ÇØ´Â ±¹³»»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ÇØ¿Ü Áö»ç¸¦ ÅëÇÑ ÇØ¿ÜÀÇ Àåºñ ¾÷ü·ÎÀÇ ·Îº¿&½Ã½ºÅÛ ÆǸŷΠ·çÆ®¸¦ ´Ù¾çÈ­ÇßÀ¸¸ç, ´õºÒ¾î ±âÁ¸ÀÇ ÁÖ·Â ±âÁ¾ÀÎ M124 ·Îº¿¿¡¼­ ½Å±Ô ÁÖ·Â ±âÁ¾ÀÎ MR124 ·Îº¿À¸·ÎÀÇ ÀÚ¿¬½º·¯¿î »ç¾ç º¯°æÀÌ ÀÌ·ïÁ® ¸ÅÃâ Áõ´ë·Î À̾îÁú ¼ö ÀÖ¾ú´Ù¡±°í ¼³¸íÇß´Ù.

¸ÅÃâ Ãø¸é¿¡¼­´Â ¹°·ÐÀÌ°í Áö³­ÇØ Çѱ¹¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â´Â ±×°£ ²ÙÁØÈ÷ Á¦±âµÅ ¿Ô´ø ³³±â¿Í °ü·ÃµÈ ¹®Á¦ ¶ÇÇÑ ÀϺ» º»»ç¿ÍÀÇ Áö¼ÓÀûÀÎ Ä¿¹Â´ÏÄÉÀÌ¼Ç ¹× °³¼±À» ÅëÇØ ¼ö¿ä¿¡ ´ëÇÑ »çÀü Áغñ¿Í ³³±â·Î °í°´µéÀÇ ºÒ¸¸¿¡ Àû±Ø ´ëÀÀÇß´Ù.

¡°±â¼ú Â÷º°È­ È®º¸ À§ÇÑ ¾÷°èÀÇ ¼±Á¦Àû ´ëÀÀ Çʿ䡱
Çѱ¹¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â°¡ Ÿ±êÀ¸·Î ÇÏ°í ÀÖ´Â ½ÃÀåÀº ¹ÝµµÃ¼, FPD, ÀÚµ¿Â÷, ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º µîÀÇ »ê¾÷±ºÀ¸·Î ƯÈ÷ ¹ÝµµÃ¼½ÃÀå¿¡ ´ëÇØ ¿ÃÇØ ³ôÀº ±â´ë°¨À» º¸¿´´Ù. ±è °úÀåÀº ¡°ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼¾÷°è´Â ±¹³» ÅõÀÚ ¹× Áß±¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ À°¼º¿¡ ´ëÇÑ ±â´ëÄ¡°¡ ³ôÀº »óȲ¡±À̶ó¸é¼­, ¡°Áß±¹ÀÌ ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷À¸·ÎÀÇ ÅõÀÚ¸¦ °¡¼ÓÈ­ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøµÇ´Â °¡¿îµ¥, ÀÌ¿¡ ´ëÇÑ ´ëÀÀÀ¸·Î ±¹³»¿¡¼­µµ ¸Þ¸ð¸®½ÃÀå¿¡ ´ëÇÑ ¹æ¾î¸¦ À§ÇÑ ÅõÀÚ°¡ È®´ëµÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù¡±°í Àü¸ÁÇß´Ù.

¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â¿¡¼­´Â ÇöÀçÀÇ ½ÃÀå Á¡À¯À²À» À¯Áö ¹× È®´ëÇϱâ À§ÇØ °í°´°úÀÇ ¼ÒÅëÀ» °­È­ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÇâÈÄ Áß±¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼½ÃÀåÀ¸·ÎÀÇ ¿øÈ°ÇÑ ÁøÃâÀ» À§ÇØ ÀϺ» ÇöÁö ¾ß½ºÄ«¿Í ¹ýÀΰú ÇùÀÇÇØ ¿µ¾÷·ÂÀ» °­È­ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ±è °úÀåÀº ¡°°ü·Ã ½ÃÀå¿¡¼­ ÃÖ±Ù À̽´°¡ µÇ°í ÀÖ´Â ºÎºÐÀº ¾Õ¼­ ¾ð±ÞÇÑ ¹Ù¿Í °°ÀÌ Áß±¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ À°¼º°ú ±¹³» ±â¾÷ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú Â÷º°È­¡±¶ó¸é¼­, ¡°±¹³»¿¡¼­ ¸Þ¸ð¸®´Â 3D FlashÀÇ ÅõÀÚ°¡ È®´ëµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ¿¡ µû¸¥ ¹Ì¼¼È­ °øÁ¤ÀÌ °¡¼ÓÈ­µÇ°í ÀÖ´Ù¡±°í ¼³¸íÇß´Ù.

±×¿¡ µû¸£¸é, °øÁ¤ ¹Ì¼¼È­°¡ À̽´°¡ µÇ´Â ¸¸Å­ ÇâÈÄ ÆÄƼŬ¿¡ ´ëÇÑ °ü½É ¹× À̽´°¡ È®´ëµÇ°í ÀÖ¾î ÀÌ¿¡ ±â¼úÀû ´ëÀÀÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù°í °­Á¶Çß´Ù.

   
 
  ¡ã M124 Robot  
 
°í°´ÀÇ ¿äû¿¡ ´ëÀÀÇÑ ¸ÂÃãÇü Á¦Ç° °³¹ß
¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â´Â ±¹³» ¹ÝµµÃ¼½ÃÀå¿¡ Tractless TypeÀÇ Wafer ¹Ý¼Û¿ë M124 ·Îº¿°ú ÀÌÀÇ ¾÷±×·¹ÀÌµå ¹öÀüÀÎ MR124 ·Îº¿À» ÁÖ·ÂÀ¸·Î °ø±ÞÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÃÖ±Ù¿¡´Â M124 ·Îº¿¿¡ ºñÇØ ½ºÇǵ尡 30% Çâ»óµÈ MR124 ·Îº¿ÀÇ ÆǸŰ¡ È®´ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÀÌ Á¦Ç° ¿Ü¿¡µµ MR124 ·Îº¿À» º£À̽º·Î °³¹ßµÈ Anti-Corrosion ´ëÀÀ ·Îº¿, Long Z-axis Stroke ´ëÀÀ ·Îº¿ µîÀ» ÅëÇØ °í°´ÀÇ ¿äû¿¡ ´ëÀÀÇÏ°í ÀÖ´Ù. Ãß°¡ÀûÀ¸·Î °í°´ÀÇ ¿ä±¸¿¡ µû¸¥ ½Å±â¼ú °³¹ß ¶ÇÇÑ ²ÙÁØÈ÷ ÁøÇà Áß¿¡ ÀÖ´Ù. ±èÀμö °úÀåÀº ¡°´ç»ç´Â ±âÁ¸ Á¦Ç°ÀÇ ²ÙÁØÇÑ ¾÷±×·¹À̵å¿Í ½Å±â¼ú °³¹ß¿¡ ÀüÆøÀûÀÎ ÅõÀÚ¸¦ ÁøÇàÇØ¿À°í ÀÖÀ¸¸ç, ÃÖ±Ù¿¡´Â ȯ°æ¡¤¿¡³ÊÁö, ·Îº¸Æ½½º ÈÞ¸Õ¾î½Ã½ºÆ® ºÐ¾ß µî »õ·Î¿î ¿µ¿ªÀ¸·ÎÀÇ µµÀüµµ À̾°í ÀÖ´Ù¡±°í °­Á¶Çß´Ù.

¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±âÀÇ µµÀüÀº ¼¼°è ÃÖÁ¡´Ü ±â¼ú°ú ¿ÀÇ À̳뺣À̼ÇÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î Çϸç À̸¦ ÅëÇØ »õ·Î¿î »ê¾÷ÀÚµ¿È­, ¾ÈÀüÀ» ÃÖ¿ì¼±À¸·Î ¾È½ÉÇÏ°í »ýÈ°ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »çȸ, ÀǷᡤº¹Áö ºÐ¾ß¿¡ ¸ÞÄ«Æ®·Î´Ð½º ±â¼úÀ» ÀÀ¿ëÇØ Àΰ£ÀÇ ´É·ÂÀ» º¸´Ù Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ´Â »çȸ¸¦ ¸ñÇ¥·Î ²ÙÁØÇÑ ÅõÀÚ¸¦ ÁøÇàÇÒ °ÍÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù. »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ±âÁ¸ »ç¾÷ ¿µ¿ª¿¡¼­µµ Áö¼ÓÀûÀÎ »ç¾÷ ¼öÇà´É·ÂÀ» Çâ»ó½ÃÅ´À¸·Î½á °í°´µé¿¡°Ô È®½ÇÇÑ ¼º°ú¸¦ ÀüÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï º¸´Ù Àû±ØÀûÀÎ Çຸ¸¦ À̾°Ú´Ù´Â Æ÷ºÎÀÌ´Ù.

Solution
¡¤SEMISTAR-M ½Ã¸®Áî
¿þÀÌÆÛ ¹Ý¼Û¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ±â´ÉÀ» °®Ãá °í¼º´É Ŭ¸° ·Îº¿ SEMISTAR-M ½Ã¸®Áî´Â °í¼Ó¡¤°íÁ¤¹Ðµµ ¹Ý¼Û, ¼ÒÇü¡¤°æ·® ÁÖÇàÃàÀÇ Å¾Àç·Î Àû¿ë ¹üÀ§°¡ È®´ëµÈ Á¦Ç°À¸·Î Vacuum GripÀ̳ª Edge Grip ¹æ½ÄÀ¸·Î ´ëÀÀ °¡´ÉÇÏ´Ù.
ÀÌ Á¦Ç°Àº Àü¿ø ÅõÀԽà ¿øÁ¡º¹±Í°¡ ºÒÇÊ¿äÇÏ°í ³ôÀº ½Å·Ú¼ºÀ» È®º¸ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¿ÀÇÁ¼Â(Offset) ¸®´Ï¾î ¸ð¼ÇÀ¸·Î ³ÐÀº µ¿ÀÛ ¹üÀ§(SEMISTAR-M112, -M122, -M124)¸¦ º¸ÀåÇÑ´Ù.
±âÁ¸ M124 ·Îº¿ÀÇ ¾÷±×·¹ÀÌµå ¹öÀüÀÎ MR124 ·Îº¿Àº °í¼ÓÈ­ Throughput 30% Çâ»ó, Wafer Swap 21% Çâ»ó, °íÁ¤¹ÐÈ­ Wafer ¹Ý¼Û Á¤¹Ðµµ °³¼± µîÀ» ÅëÇØ ¾÷°è ÃÖ°íÀÇ ¼º´ÉÀ» º¸ÀåÇϸç, °£´ÜÇÑ ¼Â¾÷, ÀÚ±âÁø´Ü ¸ð´ÏÅ͸µ, ¶Ù¾î³­ ¾ÈÀü¼ºÀÇ ÄÁÆ®·Ñ·¯ ³»Àå µîÀ» ÅëÇØ À¯Áöº¸¼ö ÆíÀǼºÀ» ±Ø´ëÈ­ÇÑ Á¡ÀÌ Æ¯Â¡ÀÌ´Ù.

FA Journal ÀÌ ¼­ À± ±âÀÚ (fa@infothe.com)

<ÀúÀÛ±ÇÀÚ : FAÀú³Î (http://www.fajournal.com) ¹«´ÜÀüÀç-Àç¹èÆ÷±ÝÁö>


[¿ù°£ FAÀú³Î ()]

[ÀúÀÛ±ÇÀÚ © FAÀú³Î SMART FACTORY, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö]

¿ù°£ FAÀú³ÎÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â
iconÀαâ±â»ç
±â»ç ´ñ±Û 0°³
Àüüº¸±â
ù¹ø° ´ñ±ÛÀ» ³²°ÜÁÖ¼¼¿ä.
¿©¹é
¿©¹é
¿©¹é
Back to Top