¾ß½ºÄ«¿Í±×·ìÀÇ ¾Æ½Ã¾Æ ÁÖ °ÅÁ¡À¸·Î¼ Çѱ¹½ÃÀå¿¡ ÁýÁß
Çѱ¹¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â´Â Áö³ 1994³â Çѱ¹¿¡ ¹ýÀÎÀ» ¼³¸³ÇÑ ÀÌ·¡ ¸ð¼Ç ÄÁÆ®·Ñ Á¦Ç°À» Áß½ÉÀ¸·Î »ç¾÷À» Àü°³ÇØ ¿Ô´Ù. ÀϺ»¿¡ º»»ç¸¦ µÐ ¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â´Â »ê¾÷¿ë ·Îº¿, ¼º¸¸ðÅÍ µî°ú °°Àº ÇÏÀÌ¿£µå »ê¾÷À» ¼±µµÇÏ´Â ±Û·Î¹ú ±â¾÷À¸·Î »ê¾÷¿ë ·Îº¿ Á¦Á¶ ºÐ¾ß¿¡¼´Â ±Û·Î¹ú 1À§ÀÇ À§Ä¡¸¦ °ø°íÈ÷ ÇÏ°í Àִµ¥, Çѱ¹¿¡¼ ¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â´Â 2000³â´ë¿¡ µé¾î¼ ·Îº¿»ç¾÷ºÎÀÇ ¿µ¿ªÀ» È®´ëÇϸç ÀÚµ¿Â÷, ¹ÝµµÃ¼, ¾×Á¤ »ý»ê¼³ºñ µî ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡¼ À¯Åë¸ÁÀ» ³ÐÇô¿Ô´Ù.
Áö³ÇØ 11¿ù Çѱ¹¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â´Â ±¹³»¿¡¼ÀÇ ·Îº¿½ÃÀå °È¸¦ À§ÇØ ³²ºÎÁöÁ¡ÀÇ È®´ë ¹× ÀÌÀüÀ» ÃßÁøÇÏ´Â µ¿½Ã¿¡ ·Îº¿¼¾Å͸¦ ¼³¸³ÇÔÀ¸·Î½á ±¹³» ·Îº¿»ê¾÷ÀÇ È°¼ºÈ¿¡ ÀÏÁ¶ÇÏ°Ú´Ù´Â Æ÷ºÎ¸¦ ÀüÇß´Ù. ±è °úÀåÀº ¡°´ç»ç´Â ¾ß½ºÄ«¿Í±×·ìÀÇ ¾Æ½Ã¾Æ ÁÖ °ÅÁ¡À¸·Î¼ Çѱ¹½ÃÀåÀÇ ºü¸¥ ¼ºÀå¿¡ ºÎÀÀÇØ ¸ð¼Ç ÄÁÆ®·Ñ°ú ·Îº¿À» ÅëÇØ ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º, ±â°è, ÀÚµ¿Â÷, °Ç¼³, ¹°·ù µîÀÇ ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡¼ »ç¾÷ ¿µ¿ªÀ» È®´ëÇØ ¿Ô´Ù¡±°í ¼Ò°³Çß´Ù.
¡ã MR124 Robot | ||
¸ÅÃâ Ãø¸é¿¡¼´Â ¹°·ÐÀÌ°í Áö³ÇØ Çѱ¹¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â´Â ±×°£ ²ÙÁØÈ÷ Á¦±âµÅ ¿Ô´ø ³³±â¿Í °ü·ÃµÈ ¹®Á¦ ¶ÇÇÑ ÀϺ» º»»ç¿ÍÀÇ Áö¼ÓÀûÀÎ Ä¿¹Â´ÏÄÉÀÌ¼Ç ¹× °³¼±À» ÅëÇØ ¼ö¿ä¿¡ ´ëÇÑ »çÀü Áغñ¿Í ³³±â·Î °í°´µéÀÇ ºÒ¸¸¿¡ Àû±Ø ´ëÀÀÇß´Ù.
¡°±â¼ú Â÷º°È È®º¸ À§ÇÑ ¾÷°èÀÇ ¼±Á¦Àû ´ëÀÀ Çʿ䡱
Çѱ¹¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â°¡ Ÿ±êÀ¸·Î ÇÏ°í ÀÖ´Â ½ÃÀåÀº ¹ÝµµÃ¼, FPD, ÀÚµ¿Â÷, ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º µîÀÇ »ê¾÷±ºÀ¸·Î ƯÈ÷ ¹ÝµµÃ¼½ÃÀå¿¡ ´ëÇØ ¿ÃÇØ ³ôÀº ±â´ë°¨À» º¸¿´´Ù. ±è °úÀåÀº ¡°ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼¾÷°è´Â ±¹³» ÅõÀÚ ¹× Áß±¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ À°¼º¿¡ ´ëÇÑ ±â´ëÄ¡°¡ ³ôÀº »óȲ¡±À̶ó¸é¼, ¡°Áß±¹ÀÌ ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷À¸·ÎÀÇ ÅõÀÚ¸¦ °¡¼ÓÈÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøµÇ´Â °¡¿îµ¥, ÀÌ¿¡ ´ëÇÑ ´ëÀÀÀ¸·Î ±¹³»¿¡¼µµ ¸Þ¸ð¸®½ÃÀå¿¡ ´ëÇÑ ¹æ¾î¸¦ À§ÇÑ ÅõÀÚ°¡ È®´ëµÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù¡±°í Àü¸ÁÇß´Ù.
¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â¿¡¼´Â ÇöÀçÀÇ ½ÃÀå Á¡À¯À²À» À¯Áö ¹× È®´ëÇϱâ À§ÇØ °í°´°úÀÇ ¼ÒÅëÀ» °ÈÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÇâÈÄ Áß±¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼½ÃÀåÀ¸·ÎÀÇ ¿øÈ°ÇÑ ÁøÃâÀ» À§ÇØ ÀϺ» ÇöÁö ¾ß½ºÄ«¿Í ¹ýÀΰú ÇùÀÇÇØ ¿µ¾÷·ÂÀ» °ÈÇÏ°í ÀÖ´Ù. ±è °úÀåÀº ¡°°ü·Ã ½ÃÀå¿¡¼ ÃÖ±Ù À̽´°¡ µÇ°í ÀÖ´Â ºÎºÐÀº ¾Õ¼ ¾ð±ÞÇÑ ¹Ù¿Í °°ÀÌ Áß±¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ À°¼º°ú ±¹³» ±â¾÷ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú Â÷º°È¡±¶ó¸é¼, ¡°±¹³»¿¡¼ ¸Þ¸ð¸®´Â 3D FlashÀÇ ÅõÀÚ°¡ È®´ëµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ¿¡ µû¸¥ ¹Ì¼¼È °øÁ¤ÀÌ °¡¼Óȵǰí ÀÖ´Ù¡±°í ¼³¸íÇß´Ù.
±×¿¡ µû¸£¸é, °øÁ¤ ¹Ì¼¼È°¡ À̽´°¡ µÇ´Â ¸¸Å ÇâÈÄ ÆÄƼŬ¿¡ ´ëÇÑ °ü½É ¹× À̽´°¡ È®´ëµÇ°í ÀÖ¾î ÀÌ¿¡ ±â¼úÀû ´ëÀÀÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù°í °Á¶Çß´Ù.
¡ã M124 Robot | ||
¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±â´Â ±¹³» ¹ÝµµÃ¼½ÃÀå¿¡ Tractless TypeÀÇ Wafer ¹Ý¼Û¿ë M124 ·Îº¿°ú ÀÌÀÇ ¾÷±×·¹ÀÌµå ¹öÀüÀÎ MR124 ·Îº¿À» ÁÖ·ÂÀ¸·Î °ø±ÞÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÃÖ±Ù¿¡´Â M124 ·Îº¿¿¡ ºñÇØ ½ºÇǵ尡 30% Çâ»óµÈ MR124 ·Îº¿ÀÇ ÆǸŰ¡ È®´ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÀÌ Á¦Ç° ¿Ü¿¡µµ MR124 ·Îº¿À» º£À̽º·Î °³¹ßµÈ Anti-Corrosion ´ëÀÀ ·Îº¿, Long Z-axis Stroke ´ëÀÀ ·Îº¿ µîÀ» ÅëÇØ °í°´ÀÇ ¿äû¿¡ ´ëÀÀÇÏ°í ÀÖ´Ù. Ãß°¡ÀûÀ¸·Î °í°´ÀÇ ¿ä±¸¿¡ µû¸¥ ½Å±â¼ú °³¹ß ¶ÇÇÑ ²ÙÁØÈ÷ ÁøÇà Áß¿¡ ÀÖ´Ù. ±èÀμö °úÀåÀº ¡°´ç»ç´Â ±âÁ¸ Á¦Ç°ÀÇ ²ÙÁØÇÑ ¾÷±×·¹À̵å¿Í ½Å±â¼ú °³¹ß¿¡ ÀüÆøÀûÀÎ ÅõÀÚ¸¦ ÁøÇàÇØ¿À°í ÀÖÀ¸¸ç, ÃÖ±Ù¿¡´Â ȯ°æ¡¤¿¡³ÊÁö, ·Îº¸Æ½½º ÈÞ¸Õ¾î½Ã½ºÆ® ºÐ¾ß µî »õ·Î¿î ¿µ¿ªÀ¸·ÎÀÇ µµÀüµµ À̾°í ÀÖ´Ù¡±°í °Á¶Çß´Ù.
¾ß½ºÄ«¿ÍÀü±âÀÇ µµÀüÀº ¼¼°è ÃÖÁ¡´Ü ±â¼ú°ú ¿ÀÇ À̳뺣À̼ÇÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î Çϸç À̸¦ ÅëÇØ »õ·Î¿î »ê¾÷ÀÚµ¿È, ¾ÈÀüÀ» ÃÖ¿ì¼±À¸·Î ¾È½ÉÇÏ°í »ýÈ°ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »çȸ, ÀǷᡤº¹Áö ºÐ¾ß¿¡ ¸ÞÄ«Æ®·Î´Ð½º ±â¼úÀ» ÀÀ¿ëÇØ Àΰ£ÀÇ ´É·ÂÀ» º¸´Ù Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ´Â »çȸ¸¦ ¸ñÇ¥·Î ²ÙÁØÇÑ ÅõÀÚ¸¦ ÁøÇàÇÒ °ÍÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù. »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ±âÁ¸ »ç¾÷ ¿µ¿ª¿¡¼µµ Áö¼ÓÀûÀÎ »ç¾÷ ¼öÇà´É·ÂÀ» Çâ»ó½ÃÅ´À¸·Î½á °í°´µé¿¡°Ô È®½ÇÇÑ ¼º°ú¸¦ ÀüÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï º¸´Ù Àû±ØÀûÀÎ Çຸ¸¦ À̾°Ú´Ù´Â Æ÷ºÎÀÌ´Ù.
Solution
¡¤SEMISTAR-M ½Ã¸®Áî
¿þÀÌÆÛ ¹Ý¼Û¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ±â´ÉÀ» °®Ãá °í¼º´É Ŭ¸° ·Îº¿ SEMISTAR-M ½Ã¸®Áî´Â °í¼Ó¡¤°íÁ¤¹Ðµµ ¹Ý¼Û, ¼ÒÇü¡¤°æ·® ÁÖÇàÃàÀÇ Å¾Àç·Î Àû¿ë ¹üÀ§°¡ È®´ëµÈ Á¦Ç°À¸·Î Vacuum GripÀ̳ª Edge Grip ¹æ½ÄÀ¸·Î ´ëÀÀ °¡´ÉÇÏ´Ù.
ÀÌ Á¦Ç°Àº Àü¿ø ÅõÀԽà ¿øÁ¡º¹±Í°¡ ºÒÇÊ¿äÇÏ°í ³ôÀº ½Å·Ú¼ºÀ» È®º¸ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¿ÀÇÁ¼Â(Offset) ¸®´Ï¾î ¸ð¼ÇÀ¸·Î ³ÐÀº µ¿ÀÛ ¹üÀ§(SEMISTAR-M112, -M122, -M124)¸¦ º¸ÀåÇÑ´Ù.
±âÁ¸ M124 ·Îº¿ÀÇ ¾÷±×·¹ÀÌµå ¹öÀüÀÎ MR124 ·Îº¿Àº °í¼ÓÈ Throughput 30% Çâ»ó, Wafer Swap 21% Çâ»ó, °íÁ¤¹ÐÈ Wafer ¹Ý¼Û Á¤¹Ðµµ °³¼± µîÀ» ÅëÇØ ¾÷°è ÃÖ°íÀÇ ¼º´ÉÀ» º¸ÀåÇϸç, °£´ÜÇÑ ¼Â¾÷, ÀÚ±âÁø´Ü ¸ð´ÏÅ͸µ, ¶Ù¾î³ ¾ÈÀü¼ºÀÇ ÄÁÆ®·Ñ·¯ ³»Àå µîÀ» ÅëÇØ À¯Áöº¸¼ö ÆíÀǼºÀ» ±Ø´ëÈÇÑ Á¡ÀÌ Æ¯Â¡ÀÌ´Ù.
FA Journal ÀÌ ¼ À± ±âÀÚ (fa@infothe.com)
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ : FAÀú³Î (http://www.fajournal.com) ¹«´ÜÀüÀç-Àç¹èÆ÷±ÝÁö>
[¿ù°£ FAÀú³Î ()]
[ÀúÀÛ±ÇÀÚ © FAÀú³Î SMART FACTORY, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö]