Micron Technology는 300mm 팹 시설에서 Applied Materials E3 프레임워크의 배치를 시작했다고 발표했다. E3은 제품성능 향상을 목표로 고도의 제어전략을 사용할 수 있는 통합엔지니어링시스템으로, 제품 수율과 품질을 개선시켜준다.

Micron은 비용과 제어 유연성 간의 균형을 높이 평가해 고급 공정제어용으로 Applied Materials E3 솔루션을 선택했다. 이 선택에 앞서 몇몇 상업시스템을 종합적으로 평가하고 계정 이해 당사자들의 선호사항, 기능 특징, 소유비용(CoO), 투자수익률(ROI) 등을 고려했다.

E3 도입 이후, Micron의 엔지니어링팀은 결함탐지 및 분류(FDC)를 통해 예상치 않은 장비 다운타임을 예측해 방지하며 제품 이상을 예방하고, R2R 제어를 통해 실시간으로 공정 파라미터를 조정하며, 장비 성능 추적(EPT)을 통해 시설 병목현상을 파악해 공정변동을 정량화할 수 있었다. 통계적 공정제어(SPC) 모듈로, Micron 300mm 시설은 효율성과 제품의 질을 추가로 개선하는 한편, CoO를 줄일 수 있을 것이다.

찰리 파피스(Charlie Pappis) Applied Global Services 부사장 겸 총괄책임자는 “전 세계 팹 자산의 효율성 최적화를 위한 E3 시스템 배포에 Micron과 같은 기술 선도업체와 협력할 수 있게 돼 매우 기쁘다”며, “이전의 자립형 기능들을 일반 프레임워크에 통합함으로써, E3 시스템은 장비 자동화와 제어기술을 변화시켰으며, 역사적으로 이의 구현과 유지보수는 복잡하고 많은 비용이 소요됐다”고 설명했다.

E3를 실행하기 전, Micron은 자체 시스템과 제3자 시스템들을 병용해 플랫폼에 따라 다른 접근방식을 실행했다. 품질관리시스템은 고객에 탁월한 제품품질을 제공하고자 하는 Micron 전략의 중요한 일부다. Applied Materials의 도움으로, Micron은 E3 시스템으로 원활히 전환할 수 있었으며, 이를 통해 중요한 공정개선을 달성하고 향상된 운영효율성으로 비용을 지속적으로 절감할 수 있었다.

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