[Àδõ½ºÆ®¸®´º½º ÀÌ°Ç¿À ±âÀÚ] ±¤ÇÐ °Ë»ç, ·¹ÀÌÀú ÄÆÆà ¹× ¸¶Å·, »ê¾÷ ÃøÁ¤ ±â¼ú, Çö¹Ì°æ °Ë»ç¿¡´Â ³ôÀº Á¤È®µµ, ¾ÈÁ¤¼º, 󸮷®À» À§ÇÑ ºü¸¥ Æ÷Áö¼Å´× ½Ã½ºÅÛÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
ÇǾÆÀÌ(PI)´Â ¸¹Àº ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡ Á¤¹Ð ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇϱâ À§ÇØ ´Ù¾çÇÑ ¿É¼ÇÀÇ XY ½ºÅ×ÀÌÁö¸¦ °³¹ßÇß´Ù. ¼ÒÇü Æ÷Áö¼Å´× ½Ã½ºÅÛÀÇ À̵¿ ¹üÀ§´Â X, Y ¹æÇâÀ¸·Î 100~300mmÀ̸ç, ÃÖ´ë 500mm/s ¼Óµµ, 0.05μmÀÇ ´Ü¹æÇ⠹ݺ¹µµ¸¦ °®´Â´Ù.
XY ½ºÅ×ÀÌÁö ½Ã¸®Áî Áß ÇϳªÀÎ ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ ´ÙÀÌ·ºÆ® µå¶óÀ̺ê V-738 [»çÁø=PI] |
XY ½ºÅ×ÀÌÁö ½Ã¸®Áî Áß ÇϳªÀÎ ½ºÅ×ÆÛ ¹× DC¸ðÅÍ L-731 [»çÁø=PI] |
ÅëÇÕµÈ °íºÐÇØ´É ¸®´Ï¾î ÀÎÄÚ´õ´Â Ç÷§Æû¿¡¼ À§Ä¡¸¦ Á÷Á¢ ÃøÁ¤ÇÑ´Ù. Æò¸é ¼³°è´Â ÀûÃþ ¿ÀÂ÷¸¦ ÃÖ¼ÒÈÇÏ°í °¼ºÀ» ³ôÀδÙ. À§³ª ¾Æ·¡¿¡¼ »ùÇà ¶Ç´Â ÀÛ¾÷¹°¿¡ Á¢±ÙÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Áß¾Ó¿¡ Å« ¾ÖÆÛó°¡ ÀÖ´Â ¹öÀüµµ Á¦°øµÈ´Ù.
XY ½ºÅ×ÀÌÁö ½Ã¸®Áî¿¡´Â ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ ´ÙÀÌ·ºÆ® µå¶óÀ̺ê(V-731, V-738, V-741)¿Í ½ºÅ×ÆÛ ¹× DC¸ðÅÍ(L-731, L-738, L-741)°¡ ÀÖ´Ù. 3»ó ¸¶±×³×ƽ ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ´Â ±¸µ¿ Æ®·¹Àο¡ ±â°è ºÎÇ°ÀÌ ÇÊ¿äÇÏÁö ¾ÊÀ¸¸ç ¸¶Âû ¾øÀÌ Á÷Á¢ ±¸µ¿ Ç÷§ÆûÀ¸·Î ±¸µ¿·ÂÀ» Àü´ÞÇÑ´Ù.
µû¶ó¼ ÃÖ´ë 500mm/s ¼Óµµ°¡ °¡´ÉÇÏ´Ù. ¾ÆÀ̾𸮽º¸ðÅÍ´Â ¿µ±¸ ÀÚ¼® »çÀÌÀÇ ÄÚ±ë Çö»óÀÌ ¾ø±â ¶§¹®¿¡ ³ôÀº Á¤¹Ðµµ¸¦ ¿äÇÏ´Â Æ÷Áö¼Å´×¿¡ ÀûÇÕÇÏ´Ù. ¶ÇÇÑ, °¡Àå ³·Àº ¼Óµµ¿¡¼µµ ºÎµå·¯¿î ÁÖÇàÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÏ¸ç ³ôÀº ¼Óµµ¿¡¼ Áøµ¿ÀÌ ¹ß»ýÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù.
L-731, L-738, L-741 XY½ºÅ×ÀÌÁö´Â ½ºÅ×ÆÛ ¶Ç´Â DC¸ðÅ͸¦ »ç¿ëÇØ ÃÖ´ë 90mm/sÀÇ ¼Óµµ·Î ÀÛµ¿Çϸç Á¤¹Ð º¼ ½ºÅ©·ç¸¦ ±¸µ¿ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ 2»ó ½ºÅ×ÆÛ ¸ðÅÍ´Â ³·Àº ¼Óµµ¿¡¼ ³ôÀº ÅäÅ©¸¦ ¹ß»ý½ÃŲ´Ù. ºÎµå·¯¿î ÁÖÇà°ú ³ôÀº ¼Óµµ°¡ ÇÊ¿äÇÑ ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡¼´Â DC¸ðÅ͸¦ ±ÇÀåÇÏ°í ÀÖ´Ù.
[ÀÌ°Ç¿À ±âÀÚ (news@industrynews.co.kr)]
[ÀúÀÛ±ÇÀÚ © FAÀú³Î SMART FACTORY, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö]