Damage Threshold°¡ ³ô°í ¿Àû ¹× ½Ã°£Àû ¾ÈÁ¤¼º Ź¿ù
[Àδõ½ºÆ®¸®´º½º ¹Ú±ÔÂù ±âÀÚ] ¼¼°è ÃÖ°íÀÇ ±¤ÇÐ ºÎÇ° °ø±Þ ¾÷üÀÎ ¿¡µå¸óµå¿Éƽ½º´Â ÄÚÆðú »çÀÌÁî°¡ »õ·Ó°Ô Ãß°¡µÈ TECHSPEC Nd:YAG ·¹ÀÌÀú ¶óÀÎ ¹Ì·¯(Laser Line Mirrors)¸¦ ¼±º¸¿´´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ÀÌ ´Ù¸ñÀû ·¹ÀÌÀú ¶óÀÎ ¹Ì·¯´Â 266nm¿¡¼ ÃÖ´ë 4Â÷ Çϸð´Ð(Harmonic)À» À§ÇÑ ·¹ÀÌÀú ºö Á¶Á¤°ú °íÃâ·Â ºö Àü´Þ µî°ú °°ÀÌ ¿ä°ÇÀÌ ±î´Ù·Î¿î Nd:YAG ¹× Nd:YLF ·¹ÀÌÀú ¿ëµµ¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ³ôÀº ¹Ý»çÀ²°ú Ç¥¸é Ç°Áú, Á¤¹Ðµµ¸¦ Á¦°øÇÑ´Ù.
TECHSPEC Nd:YAG ·¹ÀÌÀú ¶óÀÎ ¹Ì·¯ [»çÁø=¿¡µå¸óµå¿Éƽ½º] |
355nm, 10ns¿¡¼ ÃÖ´ë 5J/cm2ÀÇ Damage Threshold
TECHSPEC Nd:YAG Laser Line Mirrors´Â 355nm, 10ns¿¡¼ ÃÖ´ë 5J/cm2ÀÇ Damage Threshold¸¦ Á¦°øÇÑ´Ù. ³»±¸¼ºÀÌ ¶Ù¾î³ ÀÌ ·¹ÀÌÀú ¶óÀÎ ¹Ì·¯´Â °í¹Ðµµ ¹Ý»ç ÄÚÆÃÀ» ºñ·ÔÇØ Æ¯Á¤ ·¹ÀÌÀú À¯Çü°ú ÆÄÀå¿¡ ÀûÇÕÇÑ Damage Threshold¸¦ Ư¡À¸·Î ÇÑ´Ù. ÀÌ¿Í °°Àº °í¼º´É ¹Ì·¯´Â 1,064nm¿¡¼ 99.98%°¡ ³Ñ´Â ¹Ý»çÀ²À» º¸À¯Çϸç 0° ¹× 45° AOI ¿É¼Ç°ú ´Ù¾çÇÑ Çϸð´Ð µðÀÚÀÎÀ» Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¾Æ¿ï·¯ ±âº» ·¹ÀÌÀú ¹× ÁÖÆļö °áÇÕ ·¹ÀÌÀú ¶óÀÎÀ» ¹Ý»çÇϰųª 1,064nm ±âº» ¶óÀÎ ¹× Á¤·Ä ºöÀ» ¹Ý»çÇÏ´Â ¿ëµµ¿¡ »ç¿ëµÇ´Â µà¾ó ¹êµå ¹Ì·¯ ¶ÇÇÑ Á¦°øµÈ´Ù.
λ/10ÀÇ Ç¥¸é Á¤¹Ðµµ ¹× 10-5ÀÇ Scratch-Dig
TECHSPEC Nd:YAG ·¹ÀÌÀú ¹Ì·¯´Â UV µî±ÞÀÇ ¿ëÀ¶ ½Ç¸®Ä« ±âÆÇÀ¸·Î Á¦Á¶µÅ ¿Àû ¾ÈÁ¤¼º°ú ½Ã°£Àû ¾ÈÁ¤¼ºÀÌ ¸Å¿ì ¶Ù¾î³ Á¦Ç°ÀÌ´Ù. ¹Ý»çÇü Ç¥¸éÀº λ/10ÀÇ Ç¥¸é Á¤¹Ðµµ¿Í 10-5 Scratch-Dig Ç¥¸é Ç°ÁúÀ» ÃæÁ·Çϸç ÀÌ¿Ü¿¡µµ ¾÷°è ÃÖ°íÀÇ All-Dielectric Ion Beam Sputtered (IBS) ÄÚÆà ¿É¼ÇÀ» ÀÌ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
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